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2019/11/20最新更新专利技术
  • 腔室及半导体加工设备的制作方法
    本发明涉及半导体制造领域,具体地,涉及一种腔室及半导体加工设备。物理气相沉积或溅射沉积技术是在集成电路制造过程中一道非常重要的工艺流程,主要应用于芯片中导线的制作、阻挡层的生成、金属硬掩膜的形成等。在金属硬掩膜的物理气相沉积工艺中,晶片需要依次进行两个步骤:1)去气工艺;2)tin阻挡层工...
  • 一种碳包覆的银纳米棒阵列及其制备方法和应用与流程
    本发明涉及功能材料,尤其涉及一种碳包覆的银纳米棒阵列及其制备方法和应用。ag纳米棒因具有大的比表面积、较高的表面活性、高稳定性、较强的催化活性、优异的抗菌性、良好的导电性以及独特的光学性质等,被广泛应用于催化、光电材料、能源、生物医疗等领域。其中,由于ag的表面等离激元共振使得区域...
  • 一种柔性阻隔薄膜及其制备方法与流程
    本发明属于柔性阻隔功能薄膜,具体涉及一种柔性阻隔薄膜及其制备方法。柔性阻隔材料是可以有效阻隔环境中水汽和氧气的功能材料。最通用的阻隔材料是金属铝,一定厚度的金属铝薄膜具有阻隔性能。由于金属铝的阻隔性能一般,且金属铝与基膜结合力较差,在制作柔性阻隔产品时出现脱膜问题,可以通过金属氧化...
  • 一种无氢掺铝非晶碳膜、制备方法及其应用与流程
    本发明涉及表面防护及涂层,具体而言,涉及一种无氢掺铝非晶碳膜、制备方法及其应用。碳元素因其特殊的原子结构可以形成多种同素异形体。其中既含有sp2键又含有sp3键的非晶碳膜,具有硬度高、化学惰性好、摩擦系数低、耐磨性好等优点,具有广阔的应用前景。但非晶碳膜内部一般具有较高的残余压应力...
  • 一种复合涂层刀具及其制备方法与流程
    本发明涉及一种涂层刀具及其制备方法,尤其涉及一种复合涂层刀具及其制备方法。涂层刀具结合了表面涂层高耐磨性、高热性能和基体高韧性、高强度的优点,可大幅度改善刀具切削性能、提高机械加工效率,成为现代刀具的重要发展方向。tialn涂层具有高硬度、时效硬化和热稳定性好等优良性能,是目前应用最为普遍...
  • 一种便于利用台阶仪进行膜厚测量的掩膜板的制作方法
    本发明涉及微结构加工,具体涉及一种便于利用台阶仪进行膜厚测量的掩膜板。台阶仪属于接触式表面形貌测量仪器,根据使用传感器的不同,接触式台阶测量可以分为电感式、压电式和光电式3种。其测量原理是:当触针沿被测表面轻轻滑过时,由于表面有微小的峰谷使触针在滑行的同时,还沿峰谷作上下运动。触针...
  • 本发明主要涉及机械零件加工,尤其涉及一种高强度耐用滚压外螺纹零件的后处理方法。螺纹是在圆柱或圆锥母体表面上制出的螺旋线形的、具有特定截面的连续凸起部分;螺纹按其母体形状分为圆柱螺纹和圆锥螺纹;按其在母体所处位置分为外螺纹、内螺纹;按其截面形状(牙型)分为三角形螺纹、矩形螺纹、梯形螺...
  • 本发明涉及不锈钢管,具体为不锈钢的表面处理方法。不锈钢管是一种中空的长条圆形钢材,主要广泛用于石油、化工、医疗、食品、轻工、机械仪表等工业输送管道以及机械结构部件等,另外,在折弯、抗扭强度相同时,重量较轻,所以也广泛用于制造机械零件和工程结构,也常用作家具厨具等,现有的不锈钢管大多...
  • 300系列不锈钢螺丝扣件氮化热处理制程的制作方法
    本发明涉及一种螺丝扣件的热处理制程,特别是涉及一种300系列不锈钢螺丝扣件氮化热处理制程。钻尾螺丝由于其特殊的钻尾端设计,让钻尾螺丝同时集「钻」、「攻」、「锁」三大功能于一身:钻—钻头外形的尾端部份(简称钻尾),可直接在对锁件表面钻孔;攻—钻头以外的自攻牙部份,可直接在孔内攻牙形成内螺纹;...
  • 本发明涉及一种耐高温耐磨绝缘涂层制作方法,属于喷涂。陶瓷涂层通常指涂层材料为氧化物陶瓷的喷涂层,其主要的成分有氧化硅、氧化钇、氧化镁、氧化钛、氧化铝、氧化锆等物质材料。陶瓷涂层是覆盖在基材表面的无机保护层或膜的总称,它能改变基体表面的形貌、结构及其化学成分的组成,同时也使得基底材料...
  • 基于等离子喷涂和冷喷涂技术的IC装备关键零部件表面防护涂层的制备方法与流程
    本发明涉及陶瓷涂层的制备技术,具体为一种基于等离子喷涂和冷喷涂技术的ic装备关键零部件表面防护涂层的制备方法,属于半导体集成电路芯片(晶圆)等离子体刻蚀领域。在ic装备的刻蚀制造装备中(例如:制造半导体材料及液晶显示屏的装备),需要抵抗高能等离子体的刻蚀作用,在基体材料不能满足防护需求的情...
  • 一种用于烟气消白净化系统开放式吸收热泵的激光二次重熔非晶复合涂层及其制备方法与流程
    本发明涉及表面防护,尤其涉及一种用于烟气消白净化系统开放式吸收热泵的激光二次重熔非晶复合涂层及其制备方法。湿法脱硫白烟是由浆液、飞灰、冷凝水等组成的混合物,主要包括未能被除雾器去除的石膏浆液液滴及烟气中的饱和水蒸汽形成的冷凝液。吸收塔出口烟气中水蒸汽基本处于饱和状态,从烟囱排出与冷...
  • 一种高发射率、低热导率涂层及其制备方法与流程
    本发明属于热防护涂层制备,具体涉及一种高发射率、低热导率涂层及其制备方法。耐受气动热环境是飞行器结构与热防护系统最突出的问题,必须采取有效的热防护措施保证弹体结构及舱内设备在安全的温度下工作,其中热结构部件对高发射率、低热导率涂层的需求迫切。发明内容(一)要解决的技术问题本发明提出...
  • 促进热喷涂涂层膜基界面间机械和冶金结合的处理方法与流程
    本发明属于热喷涂涂层加工领域,尤其涉及一种促进热喷涂涂层膜基界面间机械和冶金结合的处理方法。众所周知,热喷涂涂层具有优良的防腐蚀、耐冲蚀以及抗磨损等特性,若将其涂覆在齿轮、气缸以及活塞环等大型机械设备的核心零件上,能够大幅度提升零件的使用寿命和可靠性,目前已广泛地应用于航空航天、汽车制造、...
  • 一种镀锡铜带的制作工艺的制作方法
    本发明属于水箱散热器芯体的防腐,具体涉及一种镀锡铜带的制备工艺。鉴于海上平台、海岛、海边腹地等高湿高盐雾环境,对水箱散热器芯体有较强的腐蚀,水箱耐用性大大降低,更换或维修费用较大,严重影响发电机组的正常使用。针对现有的水箱,芯体防腐一般处理为在表层喷涂一层防腐导热油漆,由于油漆存在...
  • 形状记忆合金的功能性调控方法与流程
    本发明涉及形状记忆合金工艺处理领域,特别是涉及一种形状记忆合金的功能性调控方法。形状记忆合金是一种功能材料,它具有形状记忆效应、超弹性效应、高阻尼特性、杨氏模量温度相关性和生物相容性等功能特性,广泛应用于工业工程和生物医学领域。其功能特性的调控对于其应用的扩展具有重要意义。目前,功能特性的...
  • 一种变形高温合金细晶棒材的制备方法与流程
    本发明属于高温合金先进加工,尤其涉及一种复杂合金化变形高温合金均匀细晶棒材的制备方法。高温合金在航空、航天、船舶、核电、石油、化工等工业领域被广泛应用。高温合金按成形工艺一般可分为变形高温合金和铸造高温合金两大类。变形高温合金是制造航空发动机涡轮盘的一类重要材料。涡轮盘用变形高温合...
  • 一种降低高强铝合金大型框类模锻件淬火残余应力的方法与流程
    本发明涉及一种降低高强铝合金大型框类模锻件淬火残余应力的简易方法,属于铝合金材料热处理。随着现代大型客机对承载能力的要求不断提高,对减重的要求也越来越严,飞机的主承力结构件多采用整体制造,而且尺寸越来越大,如飞机的整体框,多采用大型整体模锻件机加工而成。7xxx系高强铝合金属于时效...
  • 一种铝挤压在线淬火装置的制作方法
    本发明涉及铝型材处理领域,尤其涉及一种铝挤压在线淬火装置。铝型材在进行几样的过程中,需要理由专用的淬火装置对其进行淬火处理,以提高铝型材的机械性能。如cn202595236u中提到的一种铝型材冷却装置,其简陋粗糙,无法有效对铝型材进行充分冷却,因此需要一种系统来对铝型材进行淬火冷却。另外,...
  • 本发明涉及一种由碳纤维增强的金属复合材料支撑桶及其制备方法,具体涉及一种由碳纤维增强的铝基(或铜基)与陶瓷基复合材料支撑桶及其制备方法。航天、航空、电子、汽车等高科领域的迅速发展对材料性能的需求和标准日渐增长,单一形态或性能的工程材料已难以满足急速增长的性能需求。技术迅速发展的今天,人们逐...
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